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合肥合瑞达光电材料有限公司
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氧化锌zno的带边发射在紫外区,非常适宜作为白光led的激发光源材料,-了氧化锌zno在半导体照明工程中的重要-,并且与sic、gan等其它的宽带隙材料相比,氧化锌zno具有资源丰富、价格低廉、高的化学和热稳定性,-的抗辐照损伤能力,适合做长寿命器件等多方面的优势。此外,氧化锌zno与gan的物理性能非常接近,其晶格失配度很小,是gan晶体生长zui理想的衬底材料。
氧化锌zno单晶是具有半导体、发光、压电、电光等多种用途的功能晶体材料。不仅可用于制作紫外光电器件,也是高1性能的移动通讯基片材料和优1秀的闪烁材料;此外,氧化锌zno与gan的晶格失配度-小,是gan外延生长理想的衬底材料。同时由于具有可见区透明,机电耦合系数大,能使气体分子在其表面的吸附-解析等性质,有望在高峰值能量的能量-器、大直径高的gan的衬底、未来的5ghz之外的无线通信、高电场设备、高温高能电子器件、高电场设备、高温高能电子器件等方面得到广泛应用。
一种生长氧化锌晶体的方法,在真空下,通入保护气,以氧化锌的粉为粉源,将氧化锌的粉加热使其升华为气体,所述升华的气体在温度梯度作用下被输运到氧化锌籽晶表面且结晶生长.采用升华法生长氧化锌晶体装置,加热速度快,生长室容易达到高真空,可通过改变工艺条件实现对氧化锌晶体尺寸,生长速度的控制,可获得高大尺寸氧化锌晶体;克服了现有技术生长速率低的不足,且工艺设备要求简单,成本较低.
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